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真空过滤器 ZFA

・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。
・滤芯过滤面积大。

带快换管接头的真空过滤器 ZFB

・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。
・配管可快速拆装。

直线型空气过滤器 ZFC

・使用压力范围：－100kPa～1.0MPa。
 既可用于正压也可用于真空压。
・采用防回转结构。
 使用正压时，防止因松动造成零部件飞散。
・有2种透明外壳材质可选。
 聚碳酸酯（标准）、尼龙（订制规格）。

                                                  注1）供给压力0.1MPa、压差30kPa
                                                  注2）订制规格
 

带快换管接头的真空过滤器／直线型 ZFC

・IN、OUT在一条直线上。
・带快换管接头，易于拆装。
・树脂成型品，重量轻、体积小。
・可更换滤芯的卡盒型。

※ZFC050/100/200系列预计于2017年6月进行产品变更。
                                              请选择ZFC1□～7□系列。

真空用过滤器 AFJ

・保护真空元件。
・过滤精度：5,40,80μm。
・大流量：max.660L/min（ANR）。
・滤芯可在洗净后重复使用。
・可去除水滴。
・透明杯体保护罩将杯体完全包覆。

真空过滤器 ZFC050

・可直接安装的小型真空过滤器。